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半導體顯示制備
DISPLAY SYSTEM

準分子激光退火設備 （ELA：excimer laser annealing）是 生產(chǎn) TFT-LCD / OLED 的關鍵設備之一。

DUKIN最早將空氣軸承技術應用到該領域
DUKIN獨立開了ELA系統(tǒng)的軟件、機臺、控制，可以輕松實現(xiàn)對生產(chǎn)進程，工藝數(shù)據(jù)的管理并可以迅速響應客戶的訂制需求。